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儀器儀表
ANELVA佳能 皮拉尼計（耐腐蝕型） M-351PG
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| 來源： 作者：王定輝 時間：2017-08-15 返回 |
ANELVA佳能 皮拉尼計（耐腐蝕型） M-351PG
這是用Ni長絲，以增加耐腐蝕性的模型。它支持硬工藝設(shè)備，如反應(yīng)離子刻蝕和化學(xué)氣相沉積。
特征
1.Improved耐腐蝕
??使用NI長絲
2，良好的可重復(fù)性和低成本
3.從5×度10 -2 Pa至大氣壓
應(yīng)用
·半導(dǎo)體及電子器件制造設(shè)備
??干蝕刻設(shè)備，等離子CVD設(shè)備，LD-CVD設(shè)備
·食品和藥品的生產(chǎn)設(shè)備
??真空冷凍干燥，減壓蒸餾，滅菌設(shè)備
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