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儀器儀表
ANELVA佳能 電容薄膜規(guī) M-341DG
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| 來源： 作者：王定輝 時間：2017-08-15 返回 |
ANELVA佳能 電容薄膜規(guī) M-341DG
這是一個電容計（隔膜壓力表）符合RoHS規(guī)定。
它提供了按鈕調(diào)零，LED狀態(tài)顯示，并且對于改進(jìn)的可用性和精度低功耗。
特征
利用微機械技術(shù)1.Static電容隔膜壓力表
2.采用單晶硅膜片作為傳感器
3.Compact，重量輕，成本低，以及低功耗
4，高精確度和可重復(fù)性
應(yīng)用
·濺射系統(tǒng)，灰化系統(tǒng)
·負(fù)載鎖定室
·氣體分析/泵系統(tǒng)壓力測量
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