Magnescale磁尺BS65-160R

來源：作者：王定輝時間：2017-08-15 返回

BS65系列型號：

BS65-160R
BS65-260R
BS65-360R
BS65-460R
BS65-560R
BS65-660R
BS65-760R
BS65-860R
BS65-996R

產(chǎn)品介紹：信號波長： 138nm
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高精度原點を內(nèi)蔵
精度： ±0.1μm
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スケール有効長： 160～960mmの9機種ラインアップ
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レーザ光波干渉計並みの高精度、
高分解能
精度：（0.1＋0.4L/100）μmp-p
L ：有効長
（mm）
分解能： 0.07nm
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マグネスケール並みの扱い易さと信頼性
（取付?調(diào)整）
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空気の流れ、
気圧変化に対して安定
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青板ガラス使用： 8×10
ー6
/°
C
（有効長： 160～960mm）
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主な用途
半導(dǎo)體製造裝置、検査機器、精密加工機器、精密測定器?試験機など